台特化：無水氟化氫明年首季貢獻營收 稼動率再調升

（中央社記者潘智義台北20日電）台灣特品化學董事長徐秀蘭今天表示，今年開發出用於乾式蝕刻製程的無水氟化氫（AHF），明年第1季可望貢獻營收，並呈現逐季成長。

台特化今天舉行法人說明會，徐秀蘭指出，除半導體製程所需矽乙烷氣體，最新開發的無水氟化氫，應用於乾式蝕刻製程，也是極具競爭力產品，可避免美、日廠的壟斷，看好今年下半年及明年的表現。

身兼中美晶董事長的徐秀蘭強調，中美晶對台特化持股僅3成，看好公司前景，將再加碼。

台特化總經理張雄飛說明，半導體乾式製程已形成趨勢，而無水氟化氫正是製程所需。投入無水氟化氫研發直到今年有具體成果才宣布，也是不得不做的保密措施；尤其未來半導體乾式蝕刻製程將可望大量超越濕式製程，在布階覆蓋、挖凹槽重新鋪線的需求下，無水氟化氫有很大的優勢。

張雄飛指出，無水氟化氫原是美、日廠壟斷的產品，在日韓貿易戰期間，日本禁止無水氟化氫銷韓；台特化並與氫氟酸大廠僑力化工做好水平分工、垂直整合，一起供貨給半導體大廠。

他強調，台特化擁有矽乙烷最大單一產線，年產能達26.4噸，且同一條產線可同時生產矽乙烷及矽丙烷，並調節兩種產品的出貨比重。

由於廠區位在彰濱工業區，地理位置適中，運輸便利，張雄飛形容，台特化就像是「送瓦斯」給客戶，運輸2小時，可說隨叫隨到，因此客戶不用庫存，相對外商有在地優勢。

另外，因應碳足跡規範，台特化綠電使用占比從64%，大幅提升至目前的83%，在全球同業當中只輸丹麥某公司的100%。

張雄飛指出，去年因應半導體客戶消化庫存，台特化的稼動率下修至20%，但今年上半年已大幅提升。台特化今年上半年營收創同期新高，每股盈餘並是去年全年水準；下半年營收應與上半年營收大致持平，因客戶需求已明顯成長，看好明年營收成長，將再調升產能稼動率。

他說，因應地緣政治，半導體供應鏈已形成在地化趨勢，使製程所需特用化學氣體純度要求跟著提高，特化廠的綜合服務能力須提升，更要有國際運輸能力，才能配合客戶全球擴廠。

他解釋，氟、矽化合物都是半導體製程所需特化氣體的主流產品；雖然目前工業用地難取得，但台特化土地及樓地板可用面積達1萬2000坪，足供10年發展，盼未來業務量成長，把這些土地都蓋滿。

徐秀蘭認為，半導體特化市場的趨勢是往先進製程走，希望每年都推出一個有競爭力的產品，因研發相當燒資金，申請上櫃集資即在提供未來成長所需。

她表示，特化產品用在半導體先進製程，不論圖型處理器（GPU）、中央處理器（CPU）都需要用到先進製程，特化產品並無顯著淡旺季。（編輯：張良知）1130820

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