閎康竹科實驗室導入先進電子顯微鏡 提供2奈米分析

（中央社記者張建中台北1日電）半導體檢測廠閎康董事長謝詠芬今天表示，竹科矽導實驗室導入超埃米解析球差校正穿透式電子顯微鏡（Cs Corrector TEM），將提供材料分析和故障分析服務，協助加速2奈米等先進製程技術開發驗證。

閎康今天舉行媒體交流會，謝詠芬說，超埃米解析球差校正穿透式電子顯微鏡要價超過500萬美元，為傳統電子顯微鏡的3倍以上，設備高達3.3公尺。

謝詠芬表示，其具備超埃米級成像解析能力，可精準觀測1奈米以下的啞鈴型對稱影像，呈現原子級電子軌域細節，大幅提升先進製程材料與結構研究的深度與效率。

謝詠芬說，閎康在量子元件分析領域亦取得全球性技術突破，與陽明交通大學教授李佩雯合作，運用早在2019年安裝於名古屋實驗室的原子解析力穿透式電子顯微鏡（ARM），成功建立全球首創的量子點元件3D影像技術。

她表示，這項技術可提供原子尺度下的量子點幾何形貌與晶體結構資訊，對於推動量子位元、量子感測與矽光子元件的發展具有關鍵價值。

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瞄準AI晶片功耗與可靠性驗證需求，謝詠芬說，閎康擴大測試設備投資，將於今年第1季完成2台Incal Sonoma機台及2台MCC HPB6機台的安裝，具備單晶片800瓦至1500瓦功率測試能力，已吸引歐美多家智駕車與AI晶片大廠進行驗證合作，第4季起挹注營收動能。

謝詠芬表示，下半年業績可望創下單季新高，今年營收也將創下新高，隨著過去幾年投資效益發酵，2026年營運將可爆炸性成長。（編輯：林淑媛）1140401

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