台積電打造本土微影材料供應鏈產線 年產值15億元
（中央社記者張建中新竹28日電）台積電成功輔導供應商開發品質符合標準的微影製程材料，建立本土供應鏈生產線，年產值超過新台幣15億元，材料運輸效率提升75%。
台積電在新出爐的ESG電子報中表示，微影製程在半導體製造過程至關重要，是確保晶片品質與穩定性的核心技術之一，因其材料研發及生產技術門檻高，過往主要仰賴進口供料。
為提升本土供應鏈研發實力與生產效率，民國108年台積電資材供應鏈管理處攜手奈米製像技術發展處展開「供應商原物料技術輔導計畫」，針對微影製程材料的技術開發、品保分析、數據校正、樣品驗證、廠務配置、桶槽改善、擴產規劃共7大環節提供專業指導。
台積電指出，結果不僅有效縮短供應商50%產線建置與產品驗證時間，材料品質優於製程標準，強化供應商競爭力，並為本土微影製程材料供應鏈發展奠定堅實基礎，創造年產值逾15億元，材料運輸效率提升75%。
此外，台積電攜手供應商開創晶圓清洗機台熱水循環系統，有效省水80%。為創造更多節能機會，台積電於111年針對既有廠區晶圓清洗機台進一步打造「熱水循環系統2.0版」，利用模組化設計克服無塵室場域限制，系統設備占地面積減少60%、改造作業效率提升90.5%，優化改機與安裝便利性。
請輸入正確的電子信箱格式台積電112年4月導入晶圓12B廠，節省純水2萬4000公噸、省電38萬8000度，預估119年既有12吋晶圓廠區全面導入後可年省純水1160萬公噸、省電4億5000萬度。
台積電還攜手供應商優化包材回收及再利用能力，針對先進製程特用化學品的桶裝包材開發客製化清洗技術，使桶裝包材可重複利用，112年4月成功導入晶圓15B廠，晶圓12B廠、晶圓18A廠亦同步進行驗證，預計114年全面導入12吋晶圓廠區後可年減碳2000公噸。（編輯：林淑媛）1120428
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