工研院六甲應服中心啟用 加速半導體設備開發速度

（中央社記者張榮祥台南17日電）台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心今天在工業研究院台南六甲院區啟用，將加速國內半導體設備開發速度，預期可帶動逾新台幣40億元產業效益。

在工研院雷射中心執行長曹芳海、機械公會名譽理事長柯拔希、工研院長劉文雄、經濟部技術處長邱求慧、台灣創浦總經理鄭勇志、台南市副市長趙卿惠、德國經濟辦事處長林百科（Axel Limberg）等人見證下，台灣半導體與電子產業先進雷射應用服務中心今天下午在工研院台南六甲院區啟用。

工研院表示，六甲院區引進自德國創浦（Trumpf）4台亞洲僅有的高階脈衝雷射，成立除德國以外、全世界最高階應用服務中心，將加速國內半導體設備開發速度，將帶動超過40億元產業效益。

經濟部發布新聞稿指出，國際半導體產業協會（SEMI）統計，2021年台灣半導體設備投資將高達1618億元，成為全球第2大市場，預估明年至少再成長5％，重返全球第1名。

經濟部技術處觀察，半導體製程持續往2奈米至3奈米等更先進製程發展，應用服務中心導入目前全世界最高階超快雷射，足以在低溫下切割世界第三硬的碳化矽SiC材料，使雷射設備應用在半導體領域成為不可或缺的技術要角。

邱求慧表示，去年台灣整體雷射設備進口值約220億元，是出口值的10倍，其中半導體雷射設備進口值占50％以上，若台灣半導體雷射設備國產化發展，將為台灣設備廠商帶來龐大商機，將過往送件到海外測試打樣至設備開發完成時間縮短半年以上，並減少每年1億元的打樣驗證成本。

劉文雄說，先進雷射應用服務中心提供國際級快速測試驗證服務，結合工研院雷射製程與光路技術系統、德國創浦高階雷射源與大銀微公司精密平台，提供國內雷射設備系統整合及產業人才最先進製程技術教育訓練，加速國內廠商導入高階雷射應用及升級轉型，使台灣雷射產業逐步突破目前高階雷射模組和設備仰賴進口的現況。

柯拔希表示，台灣長期以來在半導體雷射設備市場經營不易，經常在越洋送件打樣過程中，訂單就被日本、美國、德國、韓國等雷射設備商搶走，主因是台灣沒有半導體加工的高階雷射源和打樣中心，如今先進雷射應用服務中心啟用，將提升國內產業先進製程加工及技術研發效率，減少重複投資成本，為台灣製造業升級轉型注入一劑強心針。

鄭勇志說，創浦集團提供4台亞洲獨有的最新型雷射源，包括皮秒紫外光雷射源、皮秒綠光雷射源、飛秒綠光雷射源、飛秒紅外光雷射源，再搭配台灣國產高速精密平台及工研院專用光路模組及製程控制技術，是「半導體奈米製程競賽」中不可或缺的光製造技術，也讓台德技術合作共創新商機。（編輯：郭諭儒）1101117

本網站之文字、圖片及影音，非經授權，不得轉載、公開播送或公開傳輸及利用。