意德士與半導體廠合作有進展 交貨3奈米製程

（中央社記者張建中台北29日電）半導體設備零組件廠意德士與半導體大廠合作有不錯進展，董事長闕聖哲表示，目前已交貨3奈米製程。

意德士下午舉行線上法人說明會，總經理特助周明璇說，隨著半導體廠先進製程技術不斷推進，意德士過去幾年營收維持穩定成長，去年營收新台幣4.21億元，年增10.09%，稅後淨利7648萬元，年增11.35%，每股純益3.96元。

全氟密封材為意德士主力產品，比重超過50%，除自製外，同時代理大金業務，周明璇表示，靜電吸盤等維修服務業務穩定，比重約20%。

至於真空吸盤曝光載台，周明璇指出，這是客製化產品，主要是協助客戶解決先進製程曝光不足的問題，技術核心是大數據模擬演算法。

闕聖哲說，自90奈米製程就與客戶展開合作，並逐步在10奈米及7奈米製程合作，演算法已邁入第8代，目前已交貨3奈米製程，未來將配合進一步往2奈米製程發展。

至於海外設廠方面，闕聖哲表示，經內部評估，因目前規模仍小，不考慮海外設廠，不過，將會配合客戶海外擴產，增加安全庫存量，也不排除在客戶庫房備庫存。（編輯：楊凱翔）1100329

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