工研院攜手日商德山 助半導體良率提升

（中央社記者張建中新竹16日電）工研院今天宣布，與日本半導體化材製造商德山株式會社合作，共同研發半導體用原物料品質檢測技術，將可快速篩選出原物料中的不純物質，有助提升半導體生產良率。

工研院量測技術發展中心執行長林增耀表示，自2018年起工研院就與德山（Tokuyama）進行交流，在評估台灣半導體創新研發製程廠商的優勢，並看準工研院擁有先進半導體奈米級品質檢測技術，德山決定與工研院攜手優化晶圓製程原物料的檢測技術。

德山成立近百年，事業領域涵蓋化學、特殊產品、水泥及醫療相關產品，這次與工研院合作，是結合工研院的半導體奈米級檢測技術，與德山半導體化學材料相關產品技術，共同研發半導體原物料即時品質檢測技術。

德山指出，期望開發出的前瞻量測技術，能協助半導體產業開創更先進製程微細化的技術藍圖，滿足客戶需求，提升台灣半導體產業的國際競爭力。（編輯：趙蔚蘭）1100316

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