可視化磊晶製程優化系統 快取最佳化參數

（中央社記者潘智義台北21日電）工研院表示，針對LED產業調整製程參數時間冗長，開發出「可視化磊晶製程優化系統」，不僅將取得最佳化參數時間，從原本1週縮短為2小時，準確度也由92%提升為95%。

工業技術研究院指出，2013年發光二極體（LED）產業在激烈市場競爭中，殺成一片紅海，成了產業必須面對轉型的關鍵時刻。當時為了挽救LED業者的產品競爭力，機械所和電光所團隊，走訪國內LED相關業者，開發出「可視化磊晶製程優化系統」，大幅優化磊晶製程，進而穩固台灣在全球LED市場的領導地位。

工研院機械所研發副組長王慶鈞表示，當初在拜訪業者時，發現國內LED業者，花很多時間在尋找磊晶製程最佳化參數，無法有效率建立數位化巨量資料庫，讓工研院找到可以發揮所長的地方。

王慶鈞表示，磊晶製程發展至今已50年，影響製程的機台參數因素包括溫度、壓力、流量和轉速，這些因素會交互影響，讓製程調控與機台設計變數太過複雜，跨入門檻極高，全球只掌握在少數國際設備大廠手上。

他說，有關製程調控參數，過去只能仰賴磊晶製程人員的經驗，一組參數驗證往往需要6小時到8小時，而找出整體最佳化製程參數，往往耗費1週以上。

在經濟部技術處支持下，工研院開發出「可視化磊晶製程優化系統」，將製程參數資料，以及模擬分析結果導入巨量資料庫，並在參數驗證過程中，以雷射動態拍攝氣體噴灑頭噴出的氣體，讓研發人員可直接觀察驗證中參數所構成的高溫動態流場，可快速找到最佳化參數。

因此，不需要再像以往，只能由人工透過實驗與數值，模擬分析不斷設定與修正。就像是醫院裡的核磁共振成像（MRI），讓研發人員能觀察到磊晶製程的熱流層和氣流層變化。1061121

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