奈米管材質大突破 台科大研發登國際期刊

（中央社記者許秩維台北5日電）台科大研究團隊研發出非晶金屬合金的奈米管，是全球首次成功製造將排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上，也是奈米管材質上的重大突破。

台灣科技大學今天發布新聞稿表示，台科大研究團隊在奈米管材質上有重大突破，有別於一般的碳奈米管，台科大研發出非晶金屬合金（金屬玻璃）的奈米管，是全球首次成功製造將排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上，研究結果刊登於頂尖國際期刊「今日材料（Materials Today）」。

台科大研究團隊表示，奈米管大多為碳質或陶瓷氧化物的材料，且多為混亂排列結構，如果要排列成整齊的奈米管，不僅製程困難、繁瑣，且很難大面積化，團隊嘗試使用不同的材料應用在奈米管上，希望讓半導體製程更有效率並降低成本。

研究團隊利用非晶金屬合金具有較高強度的特性，結合簡易的半導體微影製程及濺鍍的鍍膜方式，成功製造出排列整齊有序的金屬奈米管陣列在矽晶圓上。

研究團隊成員、台科大材料系教授陳建光指出，研究團隊藉由純熟、可量產、大面積化的半導體微影技術，輕易調整奈米管的尺寸，此技術製程簡易且皆於常溫下進行，因此能製備在矽晶片、玻璃、聚合性高分子等各種材質上。

台科大材料系教授朱瑾也表示，未來研究團隊期望將金屬玻璃奈米管陣列應用在生物感測晶片上，提供更快速精準的檢測，解決傳統半導體矽奈米元件高成本及定量檢測不易的問題，相信對生物感測晶片的開發與製造將會有很大的突破。1061205

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