台積電台中零廢製造中心 設4回收區打造循環經濟模式
(中央社記者張建中台中13日電)台積電攜手成信實業、長春石化和立盈環保科技打造台中零廢製造中心,設有氧化矽污泥、異丙醇、氟化鈣污泥和有機溶機熱回收廠4區,確保廢棄資源不外流,未來將發展電子級化學品再應用於半導體,開創循環經濟新模式。
半導體研磨製程須使用研磨液,產生的研磨廢水經混凝處理沉降後產生氧化矽污泥。成信實業針對每種污泥的材料特質,以還原工程技術,使材料保有原用途循環的最大價值
成信實業將晶圓封裝減薄製程的矽污泥製成矽碇產品,將CMP研磨製程污泥回收研磨礦粉再循環利用,廢氟酸污泥則將氟化鈣成分回收再製人造螢石。氧化矽污泥回收廠每月收受量約800噸。
異丙醇主要使用於半導體的清洗製程,用於晶圓清洗與濕式蝕刻製程的乾燥用溶劑。長春石化將廢異丙醇藉由熱回收的蒸氣,蒸餾去除水分與不純物,精餾成電子級異丙醇回供半導體業使用。廢異丙醇回收廠每月收受量為2300噸,可產出再生異丙醇300噸。
有機溶劑同樣使用於半導體的清洗製程,主要用以去除晶圓表面的光阻與有機物。廢混合有機溶劑經由燃燒爐熱裂解後,產生高溫煙道氣經過鍋爐熱回收,產出蒸氣於零廢中心內使用。
有機溶劑熱回收廠每月收受量1300噸,台積電竹科和中科廠廢溶劑可完全自主處理,每小時蒸氣產出量15噸。未來評估導入煙道碳捕捉技術,同時達成零廢棄和淨零排放目標。
氫氟酸使用於半導體的蝕刻與清洗製程,產生的氫氟酸廢水經氟酸化混程序後產生氟化鈣污泥。立盈將氟化鈣污泥經旋窯乾燥後加入凝結劑攪拌,在導入成型機造粒與乾燥後生成人造螢石。
氟化鈣污泥回收廠每月收受量1500噸,可產出人造螢石每月750噸。立盈目前螢石純度約75%至80%,可供應鋼鐵業,作為煉鋼助溶劑,有助降低燃點,減少燃料使用,達到節能效果,未來純度達到97%水準,將可製成電子級氫氟酸供半導體業再利用。
台積電台中零廢製造中心目前主要處理台積電台中廠區的廢棄物,台積電持續積極輔導下游供應鏈廠商讓廢棄物純度再提升,達到可再利用的標準,未來中心也將協助處理供應鏈的廢棄物,此外,台積電也將在各地設置更多的零廢製造中心,加速循環經濟發展動能。(編輯:潘羿菁)1131113
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