台積電推動光阻供應鏈在地化 年產值逾10億元

（中央社記者張建中新竹29日電）晶圓代工廠台積電成功推動光阻供應鏈在地化，110年設立全台第一座極紫外光（EUV）光阻生產工廠，估計年產值超過新台幣10億元；目前評估於今年第4季建立「機台租賃平台」，提供有需求的供應商使用。

台積電表示，隨著產能擴張，原物料需求亦不斷成長，為確保製程關鍵材料光阻穩定供應，台積電打造創新商業模式，將驗證光阻品質的曝光機台以租賃方式提供光阻供應商使用，降低其投資成本，提升來台設廠意願。

台積電指出，109年成功邀請光阻供應商來台設廠，不僅生產週期由28天縮短為17天，並減少18%空運過程碳排放量。

台積電表示，110年已設立全台第一座EUV光阻生產工廠，截至111年4月，已產出超過千瓶EUV光阻劑，創造逾1億元商業價值，年產值將超過10億元，同時達到資產活化再利用效益，落實產業共好。

台積電計劃持續複製這一成功經驗，評估於111年第4季建立「機台租賃平台」，活化廠內不同類型機台再利用價值，提供有需求的供應商使用，實踐責任供應鏈承諾。（編輯：林淑媛）1110429

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