浸潤式微影之父 林本堅蝸居鞋盒辦公室作育人才

（中央社記者潘姿羽、張建中台北11日電）辦公桌、櫃子、沙發，幾乎將整個空間塞滿，屋內沒有對外窗，宛如鞋盒般大小的空間，很難相信這是外界譽稱台積電「研發6騎士」之一的林本堅目前在清華大學半導體學院的辦公室。

清大半體學院去年剛成立，學院大樓還在興建中，林本堅只好暫時窩在沒有窗戶的簡陋辦公室，昔日業界同僚來訪時驚訝直呼「你怎麼在鞋盒裡辦公？」林本堅卻不以為意。

專訪當天，他興致勃勃向中央社記者展示他放在電腦前，自製的護眼投影幕；這位被譽為「浸潤式微影之父」的大師，眼中流露的盡是科學家發明的熱情。

他20年前在台積電擔任研發處長時，以浸潤式微影技術，成功把摩爾定律推進6個世代；20年後，產業面臨空前的人才困境，80歲的林本堅再次扛下重擔，出任清大半導體學院院長，成為台灣護國神山群的堅強後盾。

被譽為半導體界愛因斯坦的他，是美國國家工程學士、中研院院士，更是學術界公認的神級人物，為何不像其他台積電退休高層，周遊列國享福，卻要親自出馬做這樣吃力的工作？他僅淡淡地說「我覺得這好像是我應該做的事情。」

一身簡單幹練的灰色襯衫配上卡其色長褲，他接受中央社團隊專訪時，眼神清亮，沒有嚴厲高管氣勢，反倒像是他的暱稱「Burn爺爺」般，渾身散發溫暖、智慧的氣質。

「Burn爺爺」在台積電地位崇高，他和前資深研發處長梁孟松、楊光磊、前營運長蔣尚義、前技術長孫元成、前研發副總經理余振華等6人，被譽為台積電研發6騎士。

林本堅是越南僑生，靠著優秀的研究頭腦，一路讀書都很順遂，高三時回台灣新竹中學唸書，短短一年後，無需僑生加分即考取台大電機系。大學畢業後赴美國求學，在俄亥俄州立大學取得博士，畢業後即被IBM研究中心延攬，在IBM一待就是22年，隨後退休自行創業。

沒想到，美國創業9年後，他的人生在57歲那年迎來大轉彎。

●50人團隊壯大至700人 林本堅悟出職場管理心法

林本堅在IBM工作時創下無數輝煌紀錄，期間帶領研發團隊發明出許多世界第一的專利，而後自己創業、成立領創（Linnovation，意為Lin+Innovation）；領創進入第9年後，在台積電前共同營運長蔣尚義大力延攬之下，林本堅返回台灣、加入台積電擔任資深研發處長。

加入台積電，並不在林本堅人生計劃裡，究竟要不要放棄美國38年的生活回台灣，讓他一度陷入掙扎。身為虔誠基督徒的林本堅，最終遵從他口中「神的旨意」。

林本堅2000年加入台積電，到他2015年退休時，台積電經歷飛躍式成長，他的微影研發部門數由當年的50人增加到700人。談及這段過往，林本堅在自傳「把心放上去」裡寫下「神的道路高過我的道路」。

他在台積電任職期間發明的「浸潤式微影技術」，最終讓業界放棄在乾式技術投資逾10億美元，並且被艾司摩爾（ASML）看重及採用，自此展開台積電與ASML攜手並進的半導體全新世代。

隨著浸潤式微影技術成為顯學，整個業界157奈米的開發正式停止，取而代之是浸潤式的193奈米；193奈米第一個導入的製程是45奈米，台積電就此拉大領先聯電的距離，而後製程推進到7奈米，更將勁敵英特爾（Intel）甩在後頭，確立台積電晶圓代工霸主的地位。

林本堅在自傳裡提到，他在台積電任職時一度打算在2010年退休，蔣尚義一再挽留，他開出的條件是，如果要他留下，董事長張忠謀和蔣尚義都必須接受他傳教。

蔣尚義答應了，也向張忠謀報告林要留下的交換條件，張不置可否，後來林本堅送了張忠謀一本相關的書。林也被外界稱為唯一一個敢向張忠謀傳教的台積人。

從老長官蔣尚義的角度看林本堅，他曾這麼形容「不但技術上是第一把手，同時也是很優秀的管理人才」。

林本堅帶領的微影研發團隊能夠從50多人擴充到700多人，成為全世界最領先的微影技術研發部門；除了他在微影領域有傲人成就，另一關鍵就是他奉行「互尊、互助、互信」的職場管理法則。

被問及職場管理有何感悟，林本堅分享，父母與孩子的相處之道，其實也適用於職場管理；父母親望子成龍，慣於挑剔孩子的毛病，反而忽略鼓勵的重要性；職場也有同樣情況，主管常忘記鼓勵員工。

年輕人常常被業界前輩叨唸懶惰、吃不了苦，林本堅對於這些「職場前輩」也有話說。

林本堅表示，多數年輕人都喜愛打電玩，工作相對之下沒那麼有趣，年輕人應轉換思維，讓工作變得更有意義，才有動力去做，主管也應給予協助，並時常稱讚、鼓勵。

林本堅的管理哲學，讓他在台積電備受愛戴，也因此得到Burn爺爺這個稱號。

●成就非一人獨有 林本堅不提台積電叛將談互尊

職場不只上下屬之間應互相尊重，員工與公司、同僚相處更是如此。

林本堅談起「互尊、互信、互助」的職場心法時，他將「互尊」放在首位，不僅是尊重他人，更要尊重他人的成就，以及環境給予的幫助。

高科技產業相當注重技術研發，要求員工簽署競業條款屢見不鮮，晶圓代工龍頭大廠台積電自然不例外；然而，台積電主管級員工離職後跳槽敵營，遭控洩漏營業秘密的情況不算少見，最著名的案例就是前台積電研發大將梁孟松，他也是林本堅昔日同僚。

回想起剛進台積電時，林本堅發現台積電很怕人把機密帶出去，覺得很奇怪，因為對他而言，不把機密帶出去應該是很合理的事。

林本堅表示，有些人認為研發成果是一己之力達成，並視為自身資產，但他們忽略如果公司沒有給予足夠的發揮空間、環境，後面的成果談何而來？假如有人對外洩漏營業秘密，這不僅不尊重同僚、更是不尊重公司的行為。

林本堅強調，公司要能正向發展，團隊合作絕對是重中之重，主管也要謹記「互尊」的重要性，才能凝聚各路人才的長處，發揮最大戰力。

興趣是攝影、篤信基督教，創造出浸潤式微影方式，改寫全球半導體發展，人生的三道光成為今年80歲的林本堅最精采的寫照；如今轉換跑道到校園作育英才，自比是聖經中85歲時主動請纓出戰亞衲族人的「迦勒」，要讓扮演台灣護國神山的半導體產業繼續發光。（編輯：林淑媛）1110911

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