清大半導體學院奈材中心揭密 打造小型晶圓廠練兵

（中央社記者潘姿羽、張建中台北11日電）台灣為延續半導體優勢地位，在全台成立4個半導體學院，其中由中研院院士林本堅領導的清華大學團隊是佼佼者，除擁有豪華師資陣容外，隱藏在後山的奈材中心實驗室，大手筆購置了許多儀器，如同一座小型晶圓廠，成為練兵秘密基地。

除清大半導體學院外，其他3所包括台大「重點科技研究院」、陽明交大「產學創新研究學院」、成大「智慧半導體及永續製造學院」。今年2月，清大半導體學院已有少部分學生提前入學，並於9月全面開學上課。

●推動產業前進下世代 林本堅：半導體需要活才

美中貿易戰、COVID-19疫情擾亂全球政經局勢，卻也意外讓半導體產業迎來「超級景氣循環週期」，企業滿手訂單、獲利頻頻創高，氣勢如日中天。

不過，產業大老未見喜色，反而頻頻示警、投書媒體，疾呼政府應正視半導體人才荒困境。林本堅指出，地緣政治掀起的在地生產趨勢，恐讓人才荒嚴重程度膨脹數倍。

「浸潤式微影之父」林本堅自台積電退休後就在清大任教，去年在清大校長賀陳弘邀請下，出任清大半導體學院院長，「我在半導體、微影領域裡面差不多累積50年經驗，有機會把這個傳給下一代，是很好的事情。」

本著傳承與回饋的精神，林本堅毅然決然地在80歲這年，交付自己新的任務，即培育半導體產業的「活才」。

林本堅說明，要培育學生成為領導者，必須先讓學生練就特定領域的研究本領成為「專才」；而半導體科技講究互助合作，得了解其他各部的語言、理論，因此需要「通才」；但要能開創新的方向和領域、讓人追趕，就得是位「活才」才能辦到。

在政府大力推動、產學攜手下，台灣現有4座半導體學院，清大半導體學院特點是設有元件、設計、材料及製程4部。第一學期安排導讀，學生除了熟讀本部內容，還要學習其他3部的概論，對半導體產業全貌有基本理解，才能穩紮穩打，讓學生逐步從專才、通才走向活才。

半導體產業要持續往下世代推進，製程是關鍵一環；然而製程是由產業界主導，所有學校都缺乏足夠師資。林本堅動用在半導體長期的豐厚人脈，找來重量級師資，他在台積電的得意部屬高蔡勝，目前便擔任半導體學院製程部主任。

此外，包括微影設備大廠艾司摩爾（ASML）副總經理嚴濤南、台積電卓越科技院士暨副總經理余振華、力積電研發副總經理張守仁及前聯電研發副總經理游萃蓉等，均是來自產業界的豪華師資。

位於清華大學校園後山的清華實驗室更是練兵的秘密基地，不含內部精密設備儀器，光是實驗室的造價就高達新台幣7億元，一樓的奈微與材料科技中心實驗室更是國內校級單位配備設備最精良、規模最大的實驗室。

奈材中心實驗室雖然沒有價格高達上億歐元的先進極紫外光（EUV）微影系統，但也有以優惠價新台幣4000萬元向日本購入的電子束微影系統，原價達8000萬元，這對產業界或許僅是零頭，但已經讓很多學校羨慕不已。

奈材中心實驗室設有無塵室，進入前要穿著連身的無塵衣帽、手套，口罩，並經過風淋室；走進無塵室後，可看到鍍膜設備，還有黃光區，配備有蝕刻及微影製程設備，有如一座小型晶圓廠。學生在學校可以先接觸實作，進入產業界前，預先有心理準備。

除了重量級師資與實作場域，學研界與產業界的合作也勢在必行。林本堅指出，產業界考量商業利益，通常只研發下一代技術，下兩、三代技術就沒有辦法了；半導體學院則可超前部署，盡情探路、冒險。

「我們跟產業合作，但也有自己的主見」，林本堅認為，應鼓勵教授大膽嘗試，失敗也沒有關係，從中學到功課，下次才能做更好的東西。

●培育本地博士 布局前瞻研究為產業未來領路

根據104人力銀行最新發布的「2022年半導體人才白皮書」，半導體產業人才需求自2020年第3季開始走升，2021年第1季起持續創新高，到了今年第1季平均每月需求已竄升至3.5萬人，年增幅高達39.8%；半導體產業無畏近年國際局勢動盪，逆勢大爆發，更加劇「求才若渴」狀況。

不過產業缺人才不僅是「量」的問題，前台積電技術長、現任陽明交大創新研究院總院長孫元成，陽明交大國際半導體產業學院長張翼及林本堅均不約而同地說「半導體產業不只缺人才，更缺博士級人才」。

「台灣現在念博士的風氣不好」，林本堅坦言，台灣因為少子化，學齡年輕人持續下滑，業界需求量又大、薪資水準也不錯，導致多數學生碩士畢業後，就馬上投入職場。

但林本堅指出，博士修課時間長、學分也多，才能真正深入研究；如果只有碩士，碩二帶碩一做研究，「他才會一點點，就要帶人做研究？而且碩士要修的課頂多20幾學分，能夠學什麼？」

長期積累的風氣難以馬上扭轉，林本堅原先希望半導體學院招收學生以博士為主，但考量現實因素，最後仍調整為每年招收80名碩士、20名博士。

●現實潑冷水 林本堅大嘆：好好做不容易

政府大力支持下，全台4大半導體學院均已到位，但讓林本堅錯愕的是，學院成立後面臨的首個挑戰竟是來自僵固的政府制度。

林本堅苦笑著說，半導體學院希望找來有潛力、優秀的學生，寧缺勿濫，沒想到引來教育部質疑為何沒有滿額招生，「我們說不好我們不要，結果教育部說，沒招滿明年就給你少一點（名額）」。

林本堅原以為只要做個好院長、好教授，後來發現光在行政事務耗費的心力就超乎想像；想要扭轉產業缺人才的結構問題，勢必得有大破大立的舉動，但制度鬆綁來不及跟上，「要好好做，不是那麼容易」。

林本堅舉例，一個普通教授在台灣的薪資是香港的1/4，也可能是新加坡的幾分之一，更不要講美國、歐洲，這樣的薪資條件要爭取好教授並非易事；然而，若要提高薪資水準延攬人才，政府高層即使願意，但很多公務員還是習慣以前的做法，導致實務上推進有限。

再從資金面來看，半導體學院是由政府及產業共同出資，但台灣產業界的問題是要「給錢就要回收」，不會平白捐給學校，一定要做業界有興趣的研究計畫；當資金都放在研究計畫與教授的人事上時，最後能運用於經營學院的錢所剩無幾。

儘管國發基金也是出資方，林本堅直言，國發基金與產業界偶有互踢皮球情況，國發基金說這錢應該是產業界出，產業界說這錢應該是國發基金出，結果兩邊的錢都不能使用。

政府與產業攜手合資成立半導體學院蔚為美談，學院運作卻困於體制，綁手綁腳。林本堅形容，清大半導體學院「寄人籬下」，一開始連教室、老師都沒有，所幸清大深知學院的重要性，在學院第一屆招生時的審查、口試等過程，得到許多人的協助。

凡事起頭難，儘管起步不如預期順遂，林本堅仍期待半導體學院能夠實現願景，除了給學生領導者的配備，對於沒有碰過的問題也能迅速找到解方的「活才」，也期許擦亮本土博士的招牌，培育出與柏克萊大學、史丹福大學平起平坐的世界級博士。（編輯：林淑媛）1110911

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