工研院AI設備預診斷技術 助日月光提升製程良率

（中央社記者張建中新竹25日電）工研院今天宣布，將研發的AI人工智慧設備預診斷技術，導入半導體封測廠日月光中壢廠，以迅速提供最佳參數，協助提升先進製程精準度與良率。

工研院電子與光電系統研究所所長張世杰表示，工研院的AI人工智慧設備預診斷技術，有如產線上的智慧糾察隊，透過演算法進行深度學習，即可在產線直接判讀瑕疵，更可建立一套完整的資料庫，解決傳統人為檢查失誤或品質不均問題。

張世杰說，AI人工智慧設備預診斷技術將有助大幅縮短解決問題時間，可從30天縮短成1至5天，不但可提升半導體製程良率，並加速產品上市時程。

除半導體先進封裝測試檢測，張世杰表示，AI人工智慧設備預診斷技術還可應用於頻率元件生產製造廠、多晶模組微小化構裝製程廠、碳化矽晶圓檢測、載板檢測等產線。

工研院表示，在日月光中壢廠凸塊製程廠廠長謝富軒的強力支持下，AI人工智慧設備預診斷技術已導入日月光中壢廠，讓先進製程更精準有效，並更具彈性與自主性。（編輯：楊凱翔）1110525

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