台積電減少熱水浪費有成 11個月省電1400萬度

（中央社記者張建中新竹31日電）晶圓代工廠台積電打造晶圓清洗機台熱水循環系統，成功減少80%的熱水浪費，至11月已完成29組熱水設備改良，共省下1400萬度電。

台積電12月企業社會責任電子報今天出爐，台積電指出，供應晶圓清洗機台熱水的熱水設備，以往為避免管線內形成死水、造成雜質汙染，在機台未運作期間，仍不斷輸出熱水，確保管線通暢。

為有效控管熱水設備用電量，台積電營運技術委員會與機台承攬商攜手研究改良方案，利用熱水循環的概念，在原供水管路加裝一道儲熱水槽，連接機台端未經使用過的熱水排放管路，有效回收未經使用過的熱水。

改良的熱水設備，經台積電研發組織驗證後，已優先在晶圓18廠使用，未來將全面推廣至晶圓12廠、晶圓14廠及晶圓15廠等12吋晶圓廠區。

台積電估計，每台改良的熱水設備可以省下約30%的耗能，自今年1月起至11月已節省1400萬度電，預計民國114年以前將可省下1億度電。

台積電在強化用水效率方面也頗有成效，12月獲可持續水管理（AWS）授證，成為首家AWS白金級認證的半導體廠，評鑑結果114分，還創下史上最高分的紀錄。

同時，台積電導入機械式蒸汽再壓縮技術，將硫酸銨廢液轉製為有價值的工業級硫酸銨結晶產品，截至11月已減少原先需委外處理的廢硫酸約9.4萬噸、硫酸銨廢液約1200噸，創造約新台幣1.4億元的效益。

台積電預計於111年達到100%循環再生，開創硫酸銨廢液零委外的減廢里程碑。

台積電表示，與上下游供應商攜手持續精進，驅動產業與供應鏈正向改變，參與零配件清洗廠輔導暨提升計畫的科治新技，6年來已自原先的鐵皮工廠，蛻變為台積電A級績優廠商，也成為國際半導體廠跨海來台指定合作對象。（編輯：林孟汝）1081231

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