家登EUV光罩盒獲認證 接單滿載
2018/12/11 09:43
(中央社記者張建中新竹11日電)傳載方案商家登今天宣布,新一代的G/GP Type版本極紫外光(EUV)光罩傳送盒通過艾司摩爾(ASML)認證,目前接單已滿載至明年第1季。
家登表示,在耗時近2年與ASML合作,已成功開發出新版本的EUV光罩傳送盒,並通過功能性、抗缺陷性及遠距運送等各項測試,正式取得ASML認證。
家登新通過ASML認證的G/GP Type EUV光罩傳送盒,可應用於ASML的最新曝光機NXE3400B及其他先進機台上。
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根據ASML估計,至今年底可望完成18台EUV微影系統出貨,隨著第一批把EUV導入生產的客戶將於2019年進入量產階段,EUV系統出貨量可望快速成長,預期2019年將可出貨30台EUV系統。
隨著新版EUV光罩盒通過ASML認證,加上半導體廠即將把EUV導入生產,家登接單暢旺,產能將滿載至明年第1季,並將為明年營運注入成長新動能。(編輯:楊凱翔)1071211
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