花蓮地震 台積電：晶圓廠EUV未受損、設備復原率逾70%

（中央社記者張建中新竹3日電）花蓮近海上午7時58分發生規模7.2地震，並發生多起餘震。台積電晚間表示，目前晶圓廠設備復原率已超過70%，晶圓18廠等新建的晶圓廠復原率，更已超過80%。

台積電指出，今天的地震在新竹、龍潭和竹南等科學園區最大震度為5級，台中和台南科學園區的最大震度為4級。

台積電表示，在台灣的晶圓廠工安系統正常，為確保人員安全，依公司內部程序啟動相關預防措施，部分廠區在第一時間進行疏散，人員皆平安並在確認安全後回到工作崗位，詳細影響正在確認中。

台積電指出，基於在地震應變和災害預防上擁有豐富經驗與能力，並定期進行安全演習以確保萬全準備；目前晶圓廠設備的復原率已超過70%，新建的晶圓廠如晶圓18廠的復原率已超過80%。

台積電表示，雖然部分廠區的少數設備受損，並影響部分產線生產，但主要機台包含所有極紫外光（EUV）微影設備皆無受損；目前已有資源到位以加速達到全面復原，且持續復工中，台積電也與客戶保持密切溝通，並繼續密切監控並適時與客戶直接溝通相關影響。（編輯：林克倫）1130403

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