台積電攜手設備商開發智能系統 列測試機台標準設計

（中央社記者張建中新竹31日電）台積電實踐綠色製造，攜手設備供應商開發智能壓縮乾燥空氣流量控制系統，預計第4季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並列為新建封測廠測試機台標準設計。

隨著半導體製程快速演進，使測試需求持續增加，為提升機台運作與智能壓縮乾燥空氣（CDA）使用效率，台積電測試營運處於民國109年第3季啟動智能CDA流量控制系統開發專案。

台積電表示，與設備供應商合作改造測試機台管路、控制閥件及控制軟體系統，透過擷取機台參數，可依據測試環境需求自動控制CDA流量開關，非低溫測試環境時即關閉控制閥，達到有效節省CDA用量與電力的效益。

台積電指出，目前已導入先進封測廠針測機，估計每年減少碳排放量4473公噸，省電891萬度，預計第4季完成先進封測廠既有針測機系統全數更新，並將智能CDA流量控制系統列為新建先進封測廠測試機台標準設計。

台積電預估，至115年可年省4000萬度電，減碳2萬80公噸，相當於52座大安森林公園1年的二氧化碳吸附量；並計劃擴大智能CDA流量控制系統應用領域，擴大節能效益。（編輯：趙蔚蘭）1110331

本網站之文字、圖片及影音，非經授權，不得轉載、公開播送或公開傳輸及利用。