俄烏戰影響氖氣供應 看懂半導體產業為何高度重視

（中央社記者鍾榮峰台北12日電）俄羅斯與烏克蘭戰勢持續，半導體晶圓製造關鍵氣體和化學品材料供應能否順暢備受關注。整體觀察，關鍵氣體價格飆升，牽動美國所需高純化稀有氣體供應，其他化學品及材料價格上揚，也可能帶動晶片生產成本上漲。

俄羅斯2月24日入侵烏克蘭，雙方戰事持續延燒迄今，未有緩解跡象，半導體晶製造所需的高純化關鍵氣體材料和原材料供應能否順暢，已成為全球半導體產業高度重視的議題。

市調研究機構Techcet在2月1日就先行提出報告示警，俄烏戰事開啟將衝擊半導體製造關鍵原材料，尤其是俄羅斯掌握的氖、六氟丁二烯（C4F6）、鈀材（Palladium）等，例如氖是俄羅斯生產鋼鐵後的副產品，送往烏克蘭進行工業等級的純化作業。

TrendForce在2月中旬報告中也指出，烏克蘭是半導體原料氣體供應大國，包含氖、氬、氪、氙等，其中氖氣由烏克蘭供應全球近7成產量；天風證券3月8日報告指出，烏克蘭氪氣以及氙氣的全球市占率分別達到40%和30%，去年韓國進口氖氣比重28.3%來自烏克蘭和俄羅斯。

TrendForce指出，儘管半導體廠、氣體供應廠仍有庫存、且有其他地區可供應，但氣體供應量減少，可能造成價格上漲，晶片生產成本可能上漲。

工研院產業科技國際策略發展所研究總監楊瑞臨分析，氖是製造晶片使用的氣體雷射關鍵原料，應用在晶圓製造微影製程所需的深紫外光（DUV）及極紫外光（EUV）曝光機設備；烏克蘭或俄羅斯將工業等級的氖氣，供應給日本和德國等化學大廠再純化，達到半導體等級後，再供應給紫外光曝光設備廠商使用，而美國的半導體大廠，多仰賴日本進口的半導體等級氖氣從事晶圓製造。

Techcet在3月3日報告中指出，俄烏戰事未解，烏克蘭當地純化氣體的工廠已暫停運作，加深全球對邏輯晶片晶圓製造所需關鍵氣體供應是否充足的憂慮，加上俄羅斯受到制裁，可能衝擊氖、氦等半導體等級關鍵氣體供應，例如從烏克蘭間接進口至美國的高純化氖氣，占美國所需量接近50%。

亞系外資法人指出，烏克蘭主要生產氖、氪、氙等稀有氣體的工廠包括Ingas和Cryoin等。

外電日前報導，半導體製造過程所需的關鍵稀有氣體包括氖、氙氣和氪等價格正在飆升，可用庫存和供應已不足以滿足當前需求。

Technet指出，俄羅斯天然氣工業公司（Gazprom）純化工業級氦氣產品，過去6個月的產品交期持續拉長、也開始出現供應問題；美國土地管理局（BLM）供應的氦氣也出現管理和產品供應遞延的問題。

在其他特殊氣體，本土投顧法人指出，俄烏戰事拉長，也可能影響半導體蝕刻製程用的關鍵六氟丁二烯氣體，全球主要由液空（Air Liquide）及林德（Linde）供應，液空在台灣有技轉合作亞東氣體，遠東新轉投資的亞東氣體可供應部分氖氣和六氟丁二烯，台廠聯華也有生產六氟丁二烯。此外，蝕刻用氣體也有替代材料，影響程度可降低。

在關鍵材料，投顧法人分析，俄羅斯也供應鈀材，鈀原來是被動元件積層陶瓷電容（MLCC）內電極主要材料，目前大部分可被較廉價金屬替代。Techcet指出，鈀材也是製造感測元件和磁性隨機存取記憶體（MRAM）的關鍵材料，也是部分封裝材料的基礎，外電指出，美國所需35%的鈀金材料來自俄羅斯。（編輯：郭無患）1110312

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