大銀微系統超薄型直驅馬達 獲台灣精品金質獎

（中央社記者鍾榮峰台北24日電）傳動元件大廠上銀以晶圓移載模組（EFEM）獲台灣精品銀質獎，關係企業大銀微系統以超薄型直驅馬達獲台灣精品金質獎。

第30屆台灣精品獎今天下午舉行頒獎典禮，上銀以晶圓移載模組獲台灣精品銀質獎，關係企業大銀微系統以超薄型直驅馬達獲台灣精品金質獎。

上銀今天傍晚發布新聞稿指出，這是集團從2001年來連續22年獲得的第30及31座台灣精品金、銀質獎獎座。

上銀指出，晶圓移載模組是半導體設備關鍵零組件之一，在2018年通過SEMI S2國際安規認證，擁有Class 1潔淨度，能避免晶圓二次污染。晶圓移載模組可彈性選配Wafer ID讀取、晶舟盒無線射頻辨識（RFID）感應、晶圓尋邊校正、凸片檢知、站點在席感測等，依產品規格，搭配對應款式的晶圓機器人。

此外，大銀微系統超薄型直驅馬達，透過輕薄特性使設備重心降低，以利設備運行穩定，增加生產速度；大中空軸的馬達設計，可使設備小型化、設計簡單、安裝容易、精度提升、降低發塵污染，適用半導體製程、LED製程、電路板檢測以及各式自動光學檢測（AOI）應用。（編輯：楊凱翔）1101124

本網站之文字、圖片及影音，非經授權，不得轉載、公開播送或公開傳輸及利用。