微程式強攻半導體智慧製造 台灣半導體展出創新解決方案

(中央社訊息服務20230906 15:26:22)

物聯網科技服務領導商-微程式資訊 (Microprogram)，擁有累積超過27年的無線感測專業技術與經驗，近年專注發展智慧製造 (Smart Manufacturing) 產業 ，打造多項半導體、面板製程相關的檢測產品與解決方案。

今年微程式攜手產業夥伴盛詮科技與長智貿易，共同參加 2023 SEMICON TAIWAN 國際半導體展，這已是微程式跨足智慧製造領域後第三度參展。此次展出 Smart Robot Blade/Fork 及自主研發的智慧振動監測等解決方案，更首度亮相與產業夥伴家登精密共同研發出全球第一款可用於極紫外光曝光機 (EUV)的無線光罩檢測儀 (Wireless Photomask Detector)，期望透過專業技術為產業帶來創新與進步。

【智慧製造監測技術，有效提升製程良率】
微程式資訊自主研發的「智慧振動監測解決方案」，應用於半導體廠與面板廠等高科技產業。透過該方案，能偵測生產設備的振動，即時檢知機台的異常，進而提高製程良率與機台稼動率，目前這項解決方案已成功應用於 Chamber 異常偵測、Robot 刮片偵測，以及機台隔震效果檢測等領域。

Smart Robot Blade/Fork 是微程式與合作夥伴共同獨家設計，並獲得專利的產品，將感測器直接埋入手臂牙叉（Blade/Fork），能更靈敏地偵測振動數據，支援長時間連續量測，並能在產線即時量測，適用於各式材質的手臂牙叉。去年首度亮相的產品「超薄型製程檢測儀」是厚度僅 3mm 的製程檢測工具，其特色在於不必拆機，即可深入製程設備進行量測，能即時反應感測數值，降低設備保養人力成本及維護時間，除可用於自動化製程設備外，也能應用於晶圓、面板運輸，或機械手臂之乘載。

【開拓半導體產業合作，與家登精密共同打造全球第一款EUV光罩檢測儀】
此次首度亮相與產業夥伴家登精密共同研發出全球第一款可用於極紫外光曝光機(EUV)的無線光罩檢測儀 (Wireless Photomask Detector)，可應用於半導體與光罩廠之曝光機、電子束光罩曝光機、光罩檢測機等光罩傳送設備 (包含Robot、光罩盒、OHT)，以提高製程良率。此設備由光罩石英玻璃材質製造，可模擬光罩送入EUV等真空設備中，量測光罩傳輸過程中的振動、溫度等環境數值，檢驗並提升光罩傳輸穩定性，提高曝光成功率。

微程式總經理吳騰彥表示，微程式從最初賣電腦設備開始，進而發展 RFID 智慧感測辨識、智慧支付，成為台灣最大電子票證設備商，後來更跨足到智慧單車領域，到近年積極拓展半導體產業，擁有強大的跨產業實務經驗與物聯網技術能力，半導體是台灣的核心優勢，也是微程式近期積極開拓的市場，未來將持續與客戶攜手著重在製程智慧感測領域，共同推動台灣半導體產業的競爭力。

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