中央社訊息平台
歡迎公司行號投遞新聞訊息!詳洽業務行銷中心 人工服務時間為週一至週六9:30-12:00、14:00-18:30 如有週日發稿需求請於週六18:00前完成刊登程序。

更多訊息

蔡司顯微鏡解決方案助力台灣半導體技術革命 提升研發效能

發稿時間:2023/09/06 10:34:17

(中央社訊息服務20230906 10:34:17)至今已有177年的營運歷史,來自德國的卡爾蔡司是全球唯一一家提供光學顯微鏡、電子顯微鏡及3D X-ray顯微鏡三大領域研發製造的顯微鏡解決方案先驅。憑藉著傲人的經驗與技術實力,蔡司在顯微鏡製造領域一直居於全球領先地位,為各行各業提供啟發靈感的專業解決方案,不僅限於顯微鏡本身,還包含完整的分析軟體及客製化服務,協助客戶達成卓越的成就。

近年來,台灣半導體技術持續蓬勃發展,成爲全球供應鏈中不可或缺的一環。客戶面臨的挑戰也日益艱鉅,需要以不同的方式思考,從多角度解決問題。蔡司顯微鏡事業部於2021年開始在台灣直營,以更近距離聆聽客戶需求,並迅速協助客戶解決難題,客戶的成功即是蔡司的成功。

隨著高性能運算的需求,半導體先進封裝技術面臨著日益增大的樣品尺寸和厚度,以及迅速增長的分析需求。然而,現有的分析設備已難以滿足這些挑戰。為了協助客戶應對這一變化,蔡司顯微鏡解決方案部推出了卓越的AI技術,為3D X-Ray顯微鏡上搭載了名為「DeepScout」的重構軟體,以及針對半導體先進封裝的解決方案「SIVA(Sample In Volume Analysis)」,成為半導體研發的最佳夥伴。

DeepScout打造半導體研發的利器:高效重構,解決難題,效率提升125倍
在各種顯微鏡中,高解析度的影像視野通常受到限制,而大視野卻無法達到所需的解析度,這兩者之間的平衡是使用者常常面臨的考量。3D X-Ray顯微鏡透過拍攝樣品180度的2D投影照片,再利用這些照片進行3D體積影像的重構。而DeepScout則運用AI中的深度學習技術,改進了重構過程,學習3D X-Ray顯微鏡高解析度掃描影像中的特徵,再透過點擴散函數還原大視野掃描影像中的細節,讓高解析度和大視野不再是二選一的難題。

透過DeepScout技術,工作效率可提高125倍,同時達成效率與品質雙贏的目標。以A12晶片拍攝為例,高解析度掃描使用體素尺寸2.1μm,視野範圍為6.3乘4.2mm;而大視野掃描則使用體素尺寸為10μm,視野範圍為30乘20mm。然而,透過DeepScout技術深度學習後,將大視野掃描直接重構成體素尺寸2.1μm,視野範圍維持在30乘20mm。這不僅節省大量時間,也確保掃描結果的高品質。相比傳統方式,可至少提高125倍的掃描效率,且省去了拼接所需的重疊掃瞄範圍的考慮。

SIVA技術助精準解析大體積樣品缺陷
尋找大體積樣品中的缺陷位置並進行缺陷分析,就像尋找海中的一根針般困難。然而,蔡司為此提供了最佳的顯微鏡解決方案—SIVA(Sample In Volume Analysis)。這項技術利用3D X-Ray顯微鏡觀察樣品內部結構,精準定位失效位置,並將相關訊息傳送到蔡司獨有的fs Laser FIB-SEM系統(Crossbeam Laser),再利用Crossbeam Laser快速切割至失效位置,進而透過超高解析度的電子顯微鏡觀察失效位置,不僅極大提升了工作效率,更令缺陷無所遁形。

舉例來說,將SIVA應用於手機的3D封裝晶片上,該晶片內含覆晶黏晶鍵合、銲錫凸塊和基板連接,以及打線和另一晶粒接合。利用Crossbeam Laser,成功精準切斷特定打線,且不影響其他區域及下方的晶粒,這是一個極為成功的應用案例。

使用SIVA技術,首先進行3D X-Ray顯微鏡的大視野影像拍攝,整體掃描範圍為12mm乘12mm,體素尺寸為12μm,掃描時間僅需28分鐘。接著,在感興趣的區域以高解析度的參數設定取得目標打線的3D影像,此次掃描範圍為2mm乘2mm,體素尺寸落在2μm,掃描時間為2小時。最後,使用Crossbeam Laser進行定位,在fs laser的加持下,僅花費20秒時間就能切割大小為100μm乘100μm乘150μm的體積,,以精準切斷深藏在封裝內的打線,而且完全不損傷附近的打線和下方的晶粒。之後可借助電子顯微鏡進行更進一步的觀察和分析。

蔡司擁有177年的顯微鏡經驗,技術根基與時俱進,結合人工智慧和關聯技術,大幅改善顯微鏡操作作業流程,並提高失效分析的成功率。無論是從Wafer到封裝,蔡司致力於為客戶提供全面的顯微成像解決方案,成為值得信賴的最佳合作夥伴。


IC封裝失效分析涵蓋了從電性和功能測試、檢查、排除、高解析度成像到破壞性失效分析等多個階段的工作流程
IC封裝失效分析涵蓋了從電性和功能測試、檢查、排除、高解析度成像到破壞性失效分析等多個階段的工作流程


【關於蔡司集團】
蔡司集團是世界光學和光電學技術的領先企業,作爲光學領域的先驅, 以其解決方案引領光學世界,促進技術的進步。蔡司集團研發、製造並銷售工業測量與品質解決方案、生命科學與材料研究之顯微鏡解決方案、眼科與外科之醫療技術解決方案、以及蔡司光學消費產品,包含眼鏡鏡片、電影和相機鏡頭、雙筒望遠鏡。蔡司集團總部設立在德國西南部的奧伯科亨市,全球近42,000員工,並在50多個國家設立分公司。在台灣,蔡司集團於台北、新竹、台中、台南和高雄設有辦公室,提供客戶最即時、快速的服務網路。


欲知更多訊息,歡迎造訪蔡司台灣官網