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韓國拚自產半導體超純水 2025年完成首階段驗證

2023/2/1 19:23
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(中央社記者廖禹揚首爾1日專電)為推動半導體相關原物料、設備國產化,韓國環境部針對製造半導體時不可或缺的超純水推動開發生產技術,預估在2025年完成水質及設備性能驗證的第一階段工作,以生產出的超純水供應半導體廠SK Siltron使用。

韓國環境部自2021年開始推動超純水生產技術國產化,並與SK Siltron合作建設超純水示範工廠,希望將至今以來依賴美國、日本等廠商供應的超純水改由國內廠商供應,提升半導體產業自主性。

韓國環境部今天發布新聞稿表示,第一階段預計至2025年為止投入450億韓元 (約新台幣11億元),除生產工廠的設計、建設、營運外,也將用於脫氣膜、紫外線氧化裝置、離子交換樹脂等3種核心設備的國產化計畫。

韓國水資源公社等21個民間與官方機構合作建設的超純水示範工廠建於SK Siltron園區內,每天可生產1200公噸超純水,目前正在試營運,完成水質驗證後將可供應SK Siltron使用;環境部今年預計追加建設1200公噸規模的示範工廠,在2025年前進行水質及性能驗證,結束超純水國產化第一階段工作。

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第二階段則規劃建設可做超純水水質分析、技術開發、驗證及教育等用途的平台中心,預計在2030年完成。

超純水是半導體生產時用於去除污染物質的超高純度水,必須近乎完全去除電解質、微生物、微粒子等雜質。環境部指出,韓國國內超純水需求預計從2020年的1兆韓元成長至1.4兆韓元,全球需求量則將從2020年的19.5兆韓元規模,成長至2024年的23.4兆韓元,藉由掌握生產技術,也有利進軍國際市場。(編輯:林憬屏)1120201

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