經濟部促半導體原料氖在台生產 專家:替代來源多
2023/4/28 19:18(4/28 20:38 更新)
(中央社記者張建中新竹28日電)經濟部為確保半導體關鍵原料氖氣不斷氣,牽線中鋼、聯華與德商林德合作,在台灣成立精氖製造公司。半導體產業專家表示,由於替代來源多,精氖是否有必要在台灣生產有待討論。
經濟部今天證實有中鋼、聯華與德商林德三方合作案,但目前仍在討論,無法透露細節。中鋼指出,高爐在煉鋼過程會產生氖氣,針對這項三方合作案,中鋼會提供粗氖,但因簽署保密協定,相關細節不方便多說。
集邦科技產業分析師喬安表示,包含氖氣等惰性氣體主要應用於半導體微影製程,深紫外光(DUV)準分子雷射所需要的惰性混合氣體中,氖氣是必要的氣體,有關的製程自8吋的0.18微米至12吋的10奈米。
烏克蘭是全球氖氣最大供應國家,占近7成產量。當俄烏戰爭開打初期,氖氣供應問題一度引起各界高度關注,憂心氖氣供應中斷,恐連帶影響半導體生產。台積電因而在去年4月的法人說明會中,特別針對氖氣等原料供應提出說明。
不願具名的半導體產業分析師說,俄烏戰爭結果並未造成氖氣供應中斷,半導體廠營運生產也未受影響,僅引發一場虛驚。
分析師表示,氖氣目前有許多替代來源,除烏克蘭及俄羅斯外,韓國和中國大陸等也都有供應氖氣,如台積電當時即指出,包括氖氣和氙氣等氣體,向不同地區的多家供應商進行採購。分析師說,氖氣是否有必要在台灣生產就近供應有待討論。(編輯:楊凱翔)1120428
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