台日團隊助攻半導體材料研發 獲平台成果特優獎

（中央社記者蘇思云北30日電）台大材料科學工程學系特聘教授楊哲人整合的跨校跨國團隊，透過了解原子排列結構，有望助攻半導體與航太材料研發。今天獲得國研院「研發服務平台亮點成果獎」特優獎，抱走新台幣30萬元獎金。

科技部轄下財團法人國家實驗研究院（國研院）今年首度徵選「研發服務平台亮點成果獎」，並舉行頒獎典禮。

國研院表示，特優獎由楊哲人整合台大、清大、陽明交大、中山大學、中興大學、日本京都工業大學、宜特科技及美商EA Fischione Instruments組成的研究團隊獲得，運用台灣儀器科技研究中心（儀科中心）「次埃解析度（sub-Å） 原子結構研究與應用」研發服務平台，有望協助半導體、航太材料結構分析與前端研發。

楊哲人表示，半導體技術從5奈米、3奈米到下世代埃米（即0.1奈米）領域，研究如果要量測原子，必須「看清楚原子排列結構」，電子顯微鏡技術就非常重要，透過儀科中心「次埃解析度（sub-Å） 原子結構研究與應用」的研發平台，解析度可以到目前國內最高的0.78埃米。

楊哲人解釋，以半導體產業來說，廠商透過製程設計，讓材料具備特定性質，團隊透過了解材料的結構，不僅有機會可以控制材料性質，也可以回推幫忙檢視製程設計，「看設計方向是不是跟原本預期達到的方向一致」。如果未來善用平台，「相信台積電也會跟我們學習」。

另外獲得優等獎的團隊有2個，分別由中央研究院化學研究所特聘研究員陳玉如與台大電機工程學系教授楊家驤領銜。

陳玉如特聘研究員組成來自中研院與台大等團隊，使用國家高速網路與計算中心（國網中心）的「LIONS生醫平台」，分析國人不吸菸為何仍會罹患肺癌的成因，幫助防治肺癌，目前規畫未來2到3年內進行臨床試驗驗證，降低肺癌發生率。

楊家驤與陽明交大副教授洪瑞鴻共組團隊，使用台灣半導體研究中心（半導體中心）的「人工智慧系統晶片（AI SoC）設計平台」，開發「次世代基因定序識別基因變體系統單晶片」，是全世界第一顆支援完整基因定序分析流程的專用晶片，相較於一般電腦，運算速度提升60倍以上。未來可望發展成可攜式即時檢測分析產品，以因應即時遺傳性疾病檢測、基因工程等需求。

國研院院長吳光鐘表示，國研院建立各種研發服務平台，協助學研界開發出頂尖的科研成果，希望藉由設立「研發服務平台亮點成果獎」，鼓勵國內學研界更踴躍與國研院合作，做出具全球競爭力的研發成果。（編輯：潘羿菁）1100830

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