儀科中心參與半導體展 展出自主研發技術

（中央社記者吳柏緯台北19日電）台灣半導體界盛事「台灣國際半導體展」今天登場，國研院儀科中心沒有缺席。現場展出多樣客製化光學元件展品，展現半導體設備光學元件自主製造的實力。

國家實驗研究院表示，根據國際半導體產業協會（SEMI）近期發布的2019年第二季全球晶圓廠預測報告指出，全球晶圓廠設備的總支出在2020年將達到584億美元。不過台灣雖為半導體產業龍頭，但儀器設備多仰賴國外進口，價格昂貴且維修不易。

為了克服這樣的困境，國家實驗研究院台灣儀器科技研究中心近年來全力投入半導體高階儀器設備及關鍵零組件的自主研發與自製，盼能促成台灣半導體設備供應鏈在地化。並於今日開始的「SEMICON Taiwan 台灣國際半導體展」展示通過半導體製程實際驗證的曝光機關鍵零組件，以及半導體產業高階儀器設備自主研發成果與客製服務績效。

儀科中心近期研發出台灣第一部自製先進半導體原子層磊晶蝕刻設備。此外，儀科中心近期也與知名晶圓廠商合作，開發獨步全球的自動光學檢測設備技術，兩者都在會場展出。

儀科中心表示，希望透過這次的發表會交流，展示台灣自主研發半導體設備的能量，吸引更多業界人士投入儀器設備產業，扭轉目前多為代工的半導體產業分布，並深根本土基礎儀器技術。（編輯：蘇志宗）1080919

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