EUV機台耗電量增10倍 台積電大數據提升5%效率
(中央社記者張建中新竹30日電)極紫外光是半導體微影製程中最新進的機台,台積電表示,EUV機台耗電量是深紫外光微影機台的10倍以上,透過大數據分析手法及機台改善,去年提升5%能源使用效率。
半導體技術日新月異,台積電指出,極紫外光(EUV)技術的應用是半導體製程成功演進到5奈米以下的關鍵,但EUV機台耗電量是傳統深紫外光微影(DUV)機台的10倍以上。
為兼顧製程技術演進與環境永續,台積電攜手供應商積極投入「新世代機台節能行動專案」,其中針對EUV機台進行研究發現,傳送EUV光需要特殊的反射鏡,每一次傳送將損失3成能量,在機台內平均10次以上的反射過程,最後僅剩下少於2%的光能。
台積電運用大數據研析EUV光產生過程的耗能狀況及運作模式,發現EUV光產生的脈衝與反射鏡面反射效率是影響耗能的主因後,立即啟動相關機台改善措施。
台積電去年透過機台程式的修正,達到EUV光脈衝能量最佳化;同時,重新設計鏡面反射結構,有效增加3%反射率。
此外,台積電分析二氧化碳雷射系統放大器的運轉數據,發現利用變動頻率取代固定頻率的運作模式,可進一步強化放大器10%能源使用效率。
透過三管齊下的手法,台積電成功提升EUV機台5%能源使用效率,並將這綠色創新作為應用在3奈米的EUV 新機台,積極落實節能減碳的社會企業責任。
隨著先進製程不斷演進及積體電路製程日益複雜,用電量同步增加,台積電不僅積極購買再生能源,同時投入資源開發綠色機台,去年並執行460項節能措施、導入新世代節能機台。
台積電積極落實「相同製程技術量產5年後,生產效能提升1倍」的製程生產能源效率提升計畫,透過擴展創新的節能措施、智慧節能設備及導入節能元件,10 奈米及7奈米製程技術量產第4年的生產能效,成功提升1.4倍,16奈米以上製程生產能效也提升1.8倍。
台積電統計,去年節電量約5億度,相當於減少25萬公噸二氧化碳排放,節省電費共新台幣12.5億元,因減少排碳而降低的潛在外部碳成本約3.8億元。
台積電去年購買約12.3億度再生能源,至去年底並已完成1.3GW再生能源購置契約,每年約當減少220萬公噸碳排放量。
台積電去年新增太陽能板裝置容量416千瓦,全公司再生能源總發電量463萬度,減少碳排放量2356公噸,相當於20萬棵樹一年的碳吸收量。台積電今年將再擴充太陽能裝置容量227千瓦,預計發電量可達576萬度。
台積電並以民國119年全公司生產廠房25%用電量為再生能源、非生產廠房100%用電量為再生能源為努力目標。(編輯:張良知)1100630
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