首頁 / 產經原子層沉積技術平台 助半導體製程躍升2015/3/4 20:59請同意我們的隱私權規範,才能啟用聽新聞的功能。請同意我們的隱私權規範,才能啟用聽新聞的功能。(中央社記者林孟汝台北4日電)為推動台灣半導體產業發展,國研院整合產、學、研三方能量成立「原子層沉積聯合實驗室」服務平台,將提升台灣半導體製程設備技術與化學材料開發的研發實力。 您所瀏覽的新聞已過查詢時效。建議您加入中央社付費會員找尋您要的新聞。 中央社「一手新聞」 app本網站之文字、圖片及影音,非經授權,不得轉載、公開播送或公開傳輸及利用。