原子層沉積技術平台 助半導體製程躍升

（中央社記者林孟汝台北4日電）為推動台灣半導體產業發展，國研院整合產、學、研三方能量成立「原子層沉積聯合實驗室」服務平台，將提升台灣半導體製程設備技術與化學材料開發的研發實力。

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